本研究團隊設計建構一套全新的壓電式奈米級3D微結構加工系統，擁有高精度三軸與長行程雙軸堆疊式奈米定位平台，最高加工運動解析度在XY方向達0.4 nm，Z方向1 nm；最大運動行程達1500 μm。比一般文獻所提的雙光子加工所需的100 nm解析度高了100倍。我們也針對壓電平台作動態匹配校正，路徑準確性與運動穩定性的提升對加工品質有很大的助益。
本研究團隊成功開發出一套經由即時影像處理技術分析多隻果蠅社交行為，並且搭配三隻不同波段雷射刺激光源在不同的階段給予果蠅不同的刺激，透過這樣的即時訓練系統，科學家可以針對果蠅是如何形成記憶(memory formation)方面做深入研究，並且也可以透過這套系統找出每個神經元是如何控制果蠅的運動方式(Locomotion)，所以本系統之成功開發對於生命科學研究領域來說有著極為重要的幫助。
雷射干涉微影，基本原理則是利用兩道(含)以上之同調光源進行干涉，使其在三維空間中形成干涉條紋，且不受時間改變而產生變化，並利用光敏感層記錄此干涉條紋，即完成奈米級圖案之定義。目前本研究團隊已成功開發出雷射干涉微影自動化系統，利用Lloyd’s Mirror光學系統搭配自動進料系統，透過一次性的曝光製程，可定義出奈米級一維週期性結構，藉由自動化系統旋轉曝光底座，便可進行第二次曝光，定義出二維奈米級週期性結構。
本實驗室以先進的LIGA及UV-LIGA微加工技術為核心，發展光電及生醫領域關鍵元件的製造技術。本實驗室緊密結合了國立清華大學及國家同步輻射研究中心的設備，建立了全國屬一屬二的LIGA微加工技術的發展平台。
